臭氧機設備
人工制備臭氧的關鍵方法是電化學法、光化學法和放電法。放電法的工作原理就是在自然壓下使含氧空氣在交變高電壓電場作用下產生放電，生成臭氧的過程。放電法臭氧機是相對耗能較低，單機臭氧產量最大，是應用較廣的臭氧發生裝置。以氧氣為氣源的電暈法臭氧機，需另外配置空壓機，冷干機，制氧機。以空氣為氣源的電暈法開放式臭氧機，專用于空間消毒滅菌，可定時。
影響臭氧滅菌的因素
臭氧殺菌的實際效果關鍵受其濃度、微生物種類、作用時間、溫度、pH、水的理化性質、雜質等要素影響。
（1)臭氧對各式各樣微生物清殺實際效果不同。實驗表明，臭氧對人類和動物體內的病原體和病毒（如黃金）有影響
葡萄球菌、大腸桿菌、乙型肝炎病毒、沙門氏菌等具有較強的抗殺傷作用，即使對化學消毒劑具有較強的耐藥性，對霉菌也具有較強的抗殺傷作用。
(2)溫度和濕度也會影響實際的殺菌效果。一般來說，低溫高濕有很好的殺菌效果。環境相對大氣濕度不足45%時，實驗表明對空氣中浮游固體幾乎沒有除去臭氧殺菌的作用，在相同溫度下，相對大氣濕度超過60%時，實際殺菌效果逐漸增強，相對大氣濕度為90%時，殺菌效果最好。
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